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更新日期:2024-03-19
簡(jiǎn)要描述:
日本nanogray X射線(xiàn)測(cè)厚儀SX-1100系列使用軟X射線(xiàn)(軟X射線(xiàn))的厚度計(jì)(膜厚度計(jì))。以非接觸方式(軟X射線(xiàn))測(cè)量薄片和板狀物體的厚度和密度(基本重量)。通過(guò)直接與參考物質(zhì)比較來(lái)計(jì)算厚度和密度(基本重量),而不是直接測(cè)量厚度。
類(lèi)型 | 數(shù)字式 | 測(cè)量范圍 | 1 |
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日本nanogray X射線(xiàn)測(cè)厚儀SX-1100系列
使用軟X射線(xiàn)(軟X射線(xiàn))的厚度計(jì)(膜厚度計(jì))。以非接觸方式(軟X射線(xiàn))測(cè)量薄片和板狀物體的厚度和密度(基本重量)。通過(guò)直接與參考物質(zhì)比較來(lái)計(jì)算厚度和密度(基本重量),而不是直接測(cè)量厚度。
通常,為了測(cè)量片材的寬度方向上的厚度分布,檢測(cè)系統(tǒng)由掃描儀攜帶并進(jìn)行測(cè)量。通常使用激光位移計(jì)作為不接觸地測(cè)量厚度的手段,但是如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上,則其傳送的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度,從而導(dǎo)致結(jié)果。高精度測(cè)量是困難的。
另一方面,在諸如X射線(xiàn)厚度計(jì)之類(lèi)的通過(guò)透射衰減來(lái)估計(jì)厚度的方法中,測(cè)量了空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減,但是由于樣品引起的衰減很大。比空氣的厚度大,運(yùn)輸?shù)挠绊憙H表現(xiàn)為空氣層厚度的變化,并且影響很小。因此,可以高精度地進(jìn)行測(cè)量。
軟X射線(xiàn)測(cè)厚儀的一般功能
與傳統(tǒng)的軟X射線(xiàn)測(cè)厚儀相比,我們的軟X射線(xiàn)測(cè)厚儀的功能
采用
日本nanogray X射線(xiàn)測(cè)厚儀SX-1100系列