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用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域檢測(cè)設(shè)備分析
這是新系列的傳感器式真空計(jì)“G-TRAN系列多離子真空計(jì)"，可以連接不同測(cè)量范圍的探頭。本產(chǎn)品為BA型電離真空計(jì)，可測(cè)量超高真空。在繼承了寬范圍壓力測(cè)量和低運(yùn)行成本的傳統(tǒng)理念的同時(shí)，我們進(jìn)行了改進(jìn)，使其更加人性化。
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的過程控制。
用于檢查直列式、單晶圓式等具有多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力。
用于高真空和超高真空設(shè)備中的壓力測(cè)量
可連接不同測(cè)量范圍的探頭：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），最小級(jí)別
提高可用性：可通過 PC/智能手機(jī)連接進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等
產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控?zé)艚z功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測(cè)量范圍廣：可測(cè)量從大氣壓到高真空區(qū)域（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（連接選購(gòu)件SWU10-R時(shí)）
精確的大氣壓力測(cè)量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當(dāng)連接可選單元 SAU 時(shí)）
| 模型 | SH200-A | SH200-R | SH200-E（預(yù)定發(fā)售） | |
|---|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | EtderCAT 規(guī)格 | |
| 適應(yīng)性強(qiáng)的多離子規(guī)傳感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) | |||
| 可連接的傳感器 | 多離子壓力傳感器：1 件 皮拉尼壓力計(jì) SWU10-R：1 件（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選） | |||
| 重復(fù)性（N 2） | SH200單模：±2% | |||
| 采樣時(shí)間 | 60ms 5次移動(dòng)平均處理 | |||
| 測(cè)量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時(shí)間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號(hào) | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF 信號(hào)的使用方法因模式而異 | - | - | |
| 控制輸出信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1/2/3、發(fā)射有效、 燈絲功率監(jiān)控 額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通訊規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | 埃特CAT | |
| LED顯示屏 | POWER/ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） | |||
| SET1：設(shè)定點(diǎn) 1 LED SET2：設(shè)定點(diǎn) 2 LED SET3：設(shè)定點(diǎn) 3 LED | - | - | ||
| 發(fā)射電流 | 1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 + 5Pa（絕對(duì)壓力） * 必須單獨(dú)考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。 | |||
| 傳感器內(nèi)容積 | 17厘米3（M-44）、19厘米3（M-45）、17厘米3（M-46） | |||
| 工作溫度范圍 | 10～50℃ | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無(wú)冷凝） | |||
| 儲(chǔ)存溫度 | -20～65℃（不通電時(shí)不結(jié)露） | |||
| IP防護(hù)等級(jí) | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20~28V（紋波、噪聲1%以下），8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | |||
| 大量的 | 控制器：約280g 測(cè)量點(diǎn)（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g | |||
| 外形尺寸 寬×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容標(biāo)準(zhǔn) | C.E. | |||
| 選項(xiàng) | 多離子計(jì)傳感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni電鍍 | ||
| 皮拉尼壓力計(jì) | SWU10-R *也兼容傳統(tǒng)SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端) 材質(zhì)：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni，鍍層，Ni，焊料 | |||
| 大氣壓力傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供電） | |||
| 顯示單元電纜 | SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他的 | 檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書 | |||
SH200-A/SH200-R/SH200-E可采用三種方式使用：多油表獨(dú)立模式、與皮拉尼表組合模式、皮拉尼表與大氣壓力傳感器三重組合模式。
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 單模 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 組合模式 |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量壓力范圍 | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa |
| 測(cè)量精度 | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa： ±15% | 5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4～1.0×10 + 5Pa：±20% | 5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa·參考溫度25℃) |
| 連接圖 |  |  |  |
| 測(cè)量壓力范圍圖像 |  當(dāng)需要“大氣壓力"確認(rèn)時(shí)，例如打開腔室時(shí)，使用三重組合。 | ||
| 電腦用 | ULVAC SHOWCASE（網(wǎng)站）在此下載 |
| 用于智能手機(jī) | 從 Google Play 下載 |
| 電腦 | Windows10 64位或更高版本 |
| 手機(jī) | Android 6 或更高版本，USB TypeC |
