四探針法電阻率測量裝置sigma-5+介紹

發(fā)布日期：2024-11-05      瀏覽次數(shù)：61

四探針法電阻率測量裝置sigma-5+介紹

電阻率測量裝置（方塊電阻測量裝置）

半導(dǎo)體/LCD前工序（檢查）

適合專業(yè)技術(shù)人員的高性能工具。

這是一款手動(dòng)式測量儀器，采用四探針法，輕松準(zhǔn)確地測量太陽能電池硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測量。

<應(yīng)用>

1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序（成膜等各種加工工序）的產(chǎn)品檢查　

2) 液晶面板（LCD基板）制造：成膜時(shí)的產(chǎn)品檢查

3) 用于各種導(dǎo)電部件制造過程中的產(chǎn)品檢驗(yàn)

可以使用本公司另外配置的“4點(diǎn)探頭"進(jìn)行測量。

型號 sigma-5+






它可以精確測量硅片等的電阻率，還有用于太陽能電池的硅的便攜式探頭。

這是一款高精度電阻率測量儀器，采用20多年電阻率測量相關(guān)的專業(yè)知識和技術(shù)設(shè)計(jì)和開發(fā)。

可以在半導(dǎo)體基板和導(dǎo)電薄膜基板的研發(fā)/檢查過程或生產(chǎn)線中高精度地確定和評估薄層電阻值和體積電阻值。

*照片為與樣品臺RG-5的組合。

【基本規(guī)格】

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[特征]

?帶有開關(guān)功能的智能面板，可進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置

?緊湊的桌面尺寸設(shè)計(jì)

?從低電阻到高電阻的寬測量范圍

?電流極性切換測量可抑制因整流而產(chǎn)生的誤差

?每次測量開始時(shí)自動(dòng)調(diào)零功能

?自動(dòng)設(shè)定最佳電流的自動(dòng)量程功能

?試樣厚度修正功能

?測量值平均值顯示和打印機(jī)平均值計(jì)算功能

?半導(dǎo)體溫度校正功能

?各種溫度修正系數(shù)輸入功能

?帶數(shù)據(jù)打印機(jī)接口

?具有數(shù)據(jù)連接接口

?可選擇樣品表<基本規(guī)格>

■ 手持式薄膜電阻測量裝置/薄膜電阻率測量裝置



*該產(chǎn)品目前已停產(chǎn)。

手持式方塊電阻測量儀SRM-232使用4點(diǎn)探頭測量絕緣材料上導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。此外，電阻率計(jì)PV-628可以測量太陽能電池基板等硅半導(dǎo)體的電阻率。所有型號均可保存數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸出至計(jì)算機(jī)，并由具有自動(dòng)斷電功能的電池供電。

■ 手持式 ?電阻率測量儀 型號PV-628



PV-628 型是一款便攜式 4 點(diǎn)探針測量儀器，專門用于測量太陽能發(fā)電用硅的電阻率。由于它采用電池作為電源，因此便于攜帶，而且不受被測物體形狀或尺寸的限制，便于測量。

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