半導(dǎo)體模塊生產(chǎn)線通用化學(xué)循環(huán)系統(tǒng)技術(shù)

發(fā)布日期：2023-05-29      瀏覽次數(shù)：487

半導(dǎo)體模塊生產(chǎn)線通用化學(xué)循環(huán)系統(tǒng)技術(shù)

在半導(dǎo)體模塊制造過(guò)程中，生產(chǎn)過(guò)程中的溫度控制是影響器件質(zhì)量和性能特征以及精細(xì)度和小型化的重要因素。

清潔和溫度控制

RCA 清潔技術(shù)用于清潔半導(dǎo)體晶圓和 FPD（平板顯示器）已有 30 多年的歷史。 在此清洗過(guò)程中，需要對(duì)清洗介質(zhì)液體進(jìn)行高精度的溫度控制控制。

利用我們40多年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)，我們使用PID型熱模塊（帕爾貼）控制器，加熱器控制器，鹵素加熱器控制器等提供恒溫（精度為1/10°C）的恒溫（±精度為<>/<>°C）循環(huán)流體系統(tǒng)。 下面介紹一下蘇阿庫(kù)拉特系統(tǒng)提供的元素技術(shù)背景。

RCA 清潔技術(shù)

RCA清洗用于用NH4OH（氫氧化銨）和HC l（鹽酸）和H2O2（ SC-1用過(guò)氧化氫水溶液洗滌），然后用HCl（鹽酸）和H 2 O 2的水溶液洗滌SC-2。 兩者都通過(guò)將晶圓浸入溫度為75~80°C的熔融石英容器中來(lái)洗滌。 SC-1清洗具有溶解和去除有機(jī)物和剝離不溶性顆粒的作用。 此外，SC-2清洗具有去除金屬離子污染物的作用。 這種RCA清洗已成為半導(dǎo)體清洗方法的標(biāo)準(zhǔn)，并已被世界各地的半導(dǎo)體制造商廣泛使用超過(guò)40年。

未來(lái)的晶圓清洗技術(shù)“純水/微氣泡循環(huán)液"

通過(guò)在用于恒溫循環(huán)液體的循環(huán)泵中增加微氣泡發(fā)生系統(tǒng)，我們提供了一種可以取代傳統(tǒng)RCA清潔技術(shù)的技術(shù)。

半導(dǎo)體（集成電路）也被稱為工業(yè)大米，可以說(shuō)是支撐現(xiàn)代社會(huì)最重要的電子元件。 在這種生產(chǎn)中，使用了一種稱為光刻的技術(shù)，并使用光敏有機(jī)物質(zhì)（光刻膠）在硅等基板上形成圖案的同時(shí)抽出電子電路。 清潔是這一過(guò)程中非常重要的過(guò)程之一。 清洗對(duì)象是基材上的有機(jī)物和金屬， 顆粒符合條件。 還使用了使用等離子體的干法，但就可靠性和易于處理而言，使用水作為介質(zhì)的濕法已成為清潔的主流。 在濕法中，在最后的漂洗階段使用了大量的超純水，但清洗介質(zhì)只是一種強(qiáng)大的化學(xué)溶液。 特別是硫酸絕緣（SPM：硫酸+過(guò)氧化氫/ 150°C）用于去除有機(jī)物。 這種化學(xué)溶液 雖然它具有很強(qiáng)的清潔能力，但在廢液處理和安全性方面存在問(wèn)題，因此開(kāi)發(fā)不使用化學(xué)品的清潔方法被認(rèn)為是一種夢(mèng)想的技術(shù)。 微氣泡是直徑小于50μm的氣泡，其特征是在水中收縮并最終消失。 此時(shí)，通過(guò)氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時(shí)，大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基（?OH）的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強(qiáng)大的氧化劑之一，AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機(jī)廢水的技術(shù)1~4）。 自2000年左右以來(lái)，一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進(jìn)行半導(dǎo)體清潔。 然而，這是一次沒(méi)有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試，也沒(méi)有成功。 不。 因此，AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗(yàn)。 * 郵箱 ： m.taka@aist.go.jp 同時(shí)與許多公司和經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點(diǎn)是它在水中收縮并最終消失。 此時(shí)，通過(guò)氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時(shí)，大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基（?OH）的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強(qiáng)大的氧化劑之一，AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機(jī)廢水的技術(shù)。 1~4）。 在我們公司，自2000年左右以來(lái)，一些半導(dǎo)體公司一直在研究微氣泡發(fā)生系統(tǒng)的原型開(kāi)發(fā)。 然而，這是一次沒(méi)有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試，也沒(méi)有成功。 不。 因此，AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗(yàn)。 * 郵箱 ： m.taka@aist.go.jp 同時(shí)與許多公司和經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點(diǎn)是它在水中收縮并最終消失。 此時(shí)，通過(guò)氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時(shí)，大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基（?OH）的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強(qiáng)大的氧化劑之一，AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機(jī)廢水的技術(shù)1~4）。 自2000年左右以來(lái)，一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進(jìn)行半導(dǎo)體清潔。 然而，這是一次沒(méi)有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試，也沒(méi)有成功。 不。 因此，AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗(yàn)。 * 郵箱 ： m.taka@aist.go.jp 同時(shí)與許多公司和經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點(diǎn)是它在水中收縮并最終消失。 此時(shí)，通過(guò)氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時(shí)，大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基（?OH）的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強(qiáng)大的氧化劑之一，AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機(jī)廢水的技術(shù)1~4）。 自2000年左右以來(lái)，一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進(jìn)行半導(dǎo)體清潔。 然而，這是一次沒(méi)有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試，也沒(méi)有成功。 不。 因此，AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗(yàn)*電子郵件：m.taka@aist.go.jp 同時(shí)獲得了許多公司和經(jīng)濟(jì)，貿(mào)易和工業(yè)部等的合作和支持。

循環(huán)系統(tǒng)構(gòu)建的基本技術(shù)

低溫恒溫液體循環(huán)系統(tǒng)

熱模塊（帕爾貼）驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：PWM 驅(qū)動(dòng)和模擬驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

溫度控制方式：PI控制或PID控制




高溫液體循環(huán)系統(tǒng)

加熱器控制器、鹵素加熱器控制器等

 

PC控制多通道多肉機(jī)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行

配備RS-485/8種編程內(nèi)部存儲(chǔ)器（溫度循環(huán)步數(shù)：10步）



化學(xué)循環(huán)室

適用循環(huán)液：純水（去離子水）/氫氟酸/氨水過(guò)氧化氫等。

腔室材料：氟樹(shù)脂/石英玻璃/

帕爾貼控制器/熱模塊控制器

使用一臺(tái) PC 控制多通道（最多 24 通道擴(kuò)展）環(huán)行器系統(tǒng)