小型便攜式表面輪廓輪廓儀4D技術(shù)“NanoCam Sq"
傳統(tǒng)的相移干涉儀使用壓電陶瓷元件來(lái)移動(dòng)參考表面并捕獲干涉條紋的圖像。 以計(jì)算相位分布。 單次測(cè)量至少需要 100 毫秒或更長(zhǎng)時(shí)間。 在這兩者之間,干涉條紋由于干涉儀和測(cè)量樣品之間的相對(duì)振動(dòng)和空氣波動(dòng)而波動(dòng)。 這可能會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差。 為了防止這種情況,需要光學(xué)面板,隔振裝置,擋風(fēng)玻璃等。 因此,我們別無(wú)選擇,只能排除不能采取此類(lèi)措施的測(cè)量目標(biāo)。
4D技術(shù)的動(dòng)態(tài)干涉儀通過(guò)動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量解決了這些問(wèn)題 這是一個(gè)革命性的制度。
“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"不會(huì)機(jī)械移動(dòng)參考平面,單張可捕獲4幅圖像 獲得了羅姆的相移干涉圖像。 對(duì)單個(gè)相機(jī)的每個(gè)像素執(zhí)行相移。 可以持續(xù)收集數(shù)據(jù),測(cè)量時(shí)間可以減少到30微秒。 因此,在干涉圖像因振動(dòng)等原因而發(fā)生變化之前,測(cè)量在瞬間完成。這使得在振動(dòng)不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量,以及測(cè)量遠(yuǎn)處的樣品和移動(dòng)物體成為可能。 可以在固定或腔室中進(jìn)行環(huán)境測(cè)試期間測(cè)量樣品。
納米攝像頭平方應(yīng)用示例
具有超快干涉測(cè)量的表面觀測(cè)系統(tǒng) “動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量" 4D Technology的“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"超快干涉測(cè)量,具有100微秒標(biāo)準(zhǔn)。 即使在無(wú)法避免振動(dòng)的地方也可以進(jìn)行測(cè)量。
輕巧緊湊
的設(shè)計(jì),機(jī)身尺寸約為24×24×8厘米,重量約為4.6公斤。 它非常便攜,可以攜帶在要測(cè)量的物體附近進(jìn)行接近測(cè)量。