SEM樣品的金屬鍍膜裝置MSP-1S的產(chǎn)品檢測優(yōu)勢

發(fā)布日期：2022-10-20      瀏覽次數(shù)：1244

SEM樣品的金屬鍍膜裝置MSP-1S的產(chǎn)品檢測優(yōu)勢



MSP-IS鍍金機 鍍膜儀是為SEM的樣品制備而設(shè)計的專用噴金儀，為樣品表面噴金屬鍍層。

工作原理:

采用了一個平板控制電極，通過低電壓放電進(jìn)行磁控濺射的噴鍍。




MSP-IS鍍金機 鍍膜儀產(chǎn)品優(yōu)勢:

●起弧電壓低有效減弱樣品受到的離子損傷和熱損傷。

●可移動式樣品臺:工作時，樣品溫升小，能有效防止由于離子濺射而產(chǎn)生的樣品變形。

●內(nèi)置真空泵，一體式設(shè)計

●MSP-IS是-一臺只要啟動“EVAC" 按鈕，就可以全自動完成噴涂的設(shè)備。

 

操作方法:

將樣品放入樣品室，根據(jù)鍍層厚度需求設(shè)置噴鍍時間，按下啟動按鈕后，從預(yù)抽氣到噴鍍整個過程都將自動進(jìn)行，噴鍍結(jié)束后旋轉(zhuǎn)泵自動終止，樣品室內(nèi)充入空氣后即可取出樣品

 

技術(shù)參數(shù)

真空系統(tǒng): 抽速20L/min,旋轉(zhuǎn)泵最高可抽到2Pa

樣品室真空度: 在濺射時的真空度保持6-8Pa

靶和樣品的距離: 標(biāo)準(zhǔn)25 mm,也可以調(diào)整輔助平臺，增大距離至35 mm

樣品室尺寸: 高65 mm,直徑120 mm,由耐熱玻璃制成

靶材尺寸: 直徑55 mm

靶材種類: 標(biāo)配金.鈀，可選配金、鉑、金.鈀合金、鉑

樣品臺: 直徑50 mm。與陽極分離的可移動式樣品臺

設(shè)備尺寸: 長200mmX寬340mmX高350 mm。重量: 14 Kg

電源: 100V單相交流電，最大電流為10A