質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品概述
質(zhì)量流量控制器通過測量流體的質(zhì)量流量來控制流量,因此無需對環(huán)境溫度或工作壓力的變化進行補償,高精度穩(wěn)定的流體測量和控制是可能的裝置。在流量計、針閥等體積流量控制中,當需要一定量的精確流量時,需要對溫度、壓力等的變化進行補償。質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計用于半導(dǎo)體和平板顯示器等需要高精度流量測量和控制的領(lǐng)域,以及分析、燃料電池、液晶、有機EL、生物、培養(yǎng)、食品、環(huán)境測量、燃燒氣體,廣泛應(yīng)用于控制、工廠設(shè)備、實驗設(shè)備等所有過程和裝置。F-CON 的質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計是專門從事基本功能的低價產(chǎn)品,同時通過我們追求基本性能的技術(shù)降低成本并提高產(chǎn)品性能和可靠性,使其可用于廣泛的領(lǐng)域。我正在尋找制造。
質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)
質(zhì)量流量控制器的基本結(jié)構(gòu)由流量傳感器、旁路、閥門和控制電路組成,如下圖所示。
常用的傳感器稱為熱傳感器,其中電流施加到纏繞在不銹鋼毛細管上游和下游的電阻器上以產(chǎn)生熱量。當沒有氣體流動時,上游和下游電阻器熱量保持平衡,流量輸出信號指示為零。
從入口進入的氣體被轉(zhuǎn)移到傳感器并旁路。當氣體流入傳感器時,上下游電阻之間會產(chǎn)生溫差,導(dǎo)致熱平衡崩潰,傳感器的溫度分布發(fā)生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號取出。然后,將外部輸入的流量設(shè)定信號與傳感器流量輸出信號進行比較,流量控制閥進行PID運算(比例、積分、微分)使各自的信號電平匹配,閥門自動自開啟閥門的流量經(jīng)過微調(diào),可以在設(shè)定的條件下始終控制流量穩(wěn)定的流量。
■ 質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)
■ 關(guān)于流量傳感器的溫度分布 |
使用質(zhì)量流量控制器時的注意事項
●一般情況下,即使流量設(shè)置為零或強制關(guān)閉,質(zhì)量流量控制器也無法*關(guān)閉氣流。大多數(shù)質(zhì)量流量制造商基本上不保證控制流量范圍之外的控制。
●使用時,建議在質(zhì)量流量控制器前安裝閥門。這樣,可以使用質(zhì)量流量控制器來設(shè)定流量,通過打開和關(guān)閉閥門可以打開/關(guān)閉氣體。另外,質(zhì)量流量控制器的流量一經(jīng)設(shè)定就不會改變,所以總是再現(xiàn)相同的設(shè)定流量。
●即使在氣體流動時流量頻繁變化,也建議安裝閥門以*切斷氣體流動。
■左圖為閥配置流程示例。