智能真空計SC-10的原理及操作使用

發(fā)布日期：2022-07-15      瀏覽次數(shù)：1947

智能真空計SC-10簡述

SC-10智能真空計是我們開發(fā)的一種全新的方法，它是一種自動真空計，可以同時測量殘余氣體成分和全壓真空度。
全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當(dāng)總壓達到50Pa左右時，氣體成分的分壓自動啟動，可以從10-5Pa左右測量到10- 6帕。
可以測量氣體成分并檢查粗壓區(qū)域的泄漏，這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。

智能真空計SC-10原理



頻譜模式屏幕

SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計的放電顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色（波長）根據(jù)氣體成分而不同的事實來測量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長。

由于氣體成分測量單元設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會被真空中的氣體污染，可以進行不受污垢影響的測量。此外，冷陰極規(guī)沒有燈絲，因此可用于堅固耐用的應(yīng)用。

　　　　




智能真空計SC-10操作使用

由于智能真空計可以測量殘余氣體的成分，因此可以快速了解真空裝置的良好狀況，例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，但圖一為正常排氣，以水蒸氣為主要成分，確定總壓真空度，而圖二中，氮氣為泄漏所致?？梢钥闯?，從開始下降排氣約 5 分鐘后停止，如果繼續(xù)排氣，則在約 10 分鐘后氮氣量變得比水蒸氣多，總壓力真空停止。通過使用智能真空計，您可以快速找出僅通過監(jiān)測全壓真空度無法理解的排氣異常及其原因。



圖1





圖 2



您不僅可以使用智能真空計找到泄漏點，還可以噴灑氦氣或氬氣來查找泄漏點。圖 3 顯示了智能真空計在泄漏點噴氬時的數(shù)據(jù)，但可以看出，由于氬氣增加和氮氣減少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。



圖 3





圖 4

只需打開它并將其連接到您的PC，無需其他操作。SC-10內(nèi)置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓力，當(dāng)總壓力達到約50Pa時，自動開始?xì)埩魵怏w成分的測量（分壓測量）。
不用擔(dān)心，當(dāng)您恢復(fù)到大氣壓時，氣體成分測量會自動關(guān)閉。