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液晶面板材料用表面缺陷檢測設備介紹

  • 發(fā)布日期:2022-06-16      瀏覽次數:1089
    • 液晶面板材料用表面缺陷檢測設備介紹

      表面缺陷檢測設備(一般)

       


      應用流傳已久的魔鏡
      (透光鏡)原理,達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。

      非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護的光學系統(tǒng)根據選配,可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。

      1、即時顯示所有表面狀態(tài)。

      2、
      光學系統(tǒng)對應等級1

      3、學系統(tǒng)無須維護。


      4、根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。


      詢問此產品的型錄

      檢測尺寸

      φ100mm至φ300mm

      檢測內容

      平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等

      檢測倍率

      1x / 3x 模式可切換(標準設備)

      檢測靈敏度

      檢測靈敏度可連續(xù)調整

      使用光源

      550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源)

      鏡頭

      高解析度CCD鏡頭

      平臺

      手動平臺(標準設備)


      用途

       鏡面晶圓的表面檢測

       滑線檢

       玻璃基板檢測

       其他鏡面基板檢測
       

      選配

       電動馬達檢測平移臺

       自動判定缺陷影像處理裝置

       影像列印機

       搬運裝置

       

       

       
       
       
       
       
       
       
       
       

       

       

        
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